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PLASMA PROCESS MONITORING APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES AND MONITORING METHOD THEREOF

US Patent

김학성, 박동운, 김헌수, 김상일

18/647,096 Pending 2024.04.26
56

테라헤르츠파를 이용한 배터리 분리막 품질 검사 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 김헌수, 김상일, 김태완

10-2024-0027881 Pending 2024.02.27
55

테라헤르츠파를 이용한 폴리머 모니터링 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 김상일

10-2023-0182071 Pending 2023.12.14
54

Equipment and Method for monitoring the degree of crystallinity and water absorption condition of the polymer using Terahertz wave

국제특허출원(PCT)

김학성, 김상일, 박동운, 김헌수

PCT/KR2023/017459 Pending 2023.11.03
53

테라헤르츠파를 이용한 반도체 패키징 공정 모니터링 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 김상일, 김헌수

10-2023-0116892 Pending 2023.09.04