번호 제목 등록번호 상태 등록일
166

Terahertz wave를 사용한 기판 검사 기술

국내특허출원

김학성, 김상일, 김태완, 전민우, 정현진

10-2024-0162511 Pending 2024.11.14
165

회로 기판 및 이를 포함하는 반도체 패키지

국내특허출원

정순오, 한영주, 노진미, 김학성, 이세민, 전나현, 노현지, 엄희

10-2024-0156025 Pending 2024.11.06
164

테라헤르츠 파를 이용한 금속 박막 검사 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 김상일, 김헌수, 이세민, 김태완

10-2024-0137973 Pending 2024.10.10
163

Equipment and Method for monitoring the polymer thin film using Terahertz wave

국제특허출원(PCT)

김학성, 김상일

PCT/KR2024/009844 Pending 2024.07.10
162

테라헤르츠 파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링용 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 박동운, 김헌수, 김상일

10-2676683 Register 2024.06.14