ACHIEVEMENT
| 번호 | 제목 | 등록번호 | 상태 | 등록일 |
|---|---|---|---|---|
| 166 |
PLASMA PROCESS MONITORING APPARATUS USING TERAHERTZ WAVES AND MONITORING METHOD THEREOFUS Patent김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
12,198,893 | Register | 2025.01.14 |
| 165 |
Terahertz wave를 사용한 기판 검사 기술국내특허출원김학성, 김상일, 김태완, 전민우, 정현진 |
10-2024-0162511 | Pending | 2024.11.14 |
| 164 |
테라헤르츠 파를 이용한 금속 박막 검사 장치 및 방법국내특허출원김학성, 김상일, 김헌수, 이세민, 김태완 |
10-2024-0137973 | Pending | 2024.10.10 |
| 163 |
Equipment and Method for monitoring the polymer thin film using Terahertz wave국제특허출원(PCT)김학성, 김상일 |
PCT/KR2024/009844 | Pending | 2024.07.10 |
| 162 |
테라헤르츠 파를 이용한 플라즈마 공정 모니터링용 장치 및 방법국내특허출원김학성, 박동운, 김헌수, 김상일 |
10-2676683 | Register | 2024.06.14 |