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POLYMER MONITORING DEVICE AND METHOD USING TERAHERTZ WAVES

US Patent

김학성, 김상일, 박동운, 김헌수

19/337,149 Pending 2025.09.23
180

Terahertz wave를 사용한 하이브리드 본딩 공정 모니터링기술

국내특허출원

김학성, 김상일, 김태완, 전민우, 김유권, 유동훈, 박형빈

10-2025-0133551 Pending 2025.09.17
179

Lock-In Thermography (LIT)를 사용한 하이브리드 본딩 검사 기술

국내특허출원

김학성, 김상일, 김태완, 전민우, 염재민, 김유권, 유동훈, 박형빈

10-2025-0133554 Pending 2025.09.17
178

테라헤르츠 파를 이용한 미세 결함 검사 장치 및 방법

국내특허출원

김학성, 김헌수, 김상일, 김태완, 이해구, 한동수, 임진상

10-2025-0122662 Pending 2025.08.29
177

Apparatus and Method for Metal Thin Film Inspection Using Terahertz Waves

국제특허출원(PCT)

김학성 김상일 김헌수 김태완 이세민

PCT/KR2025/011430 Pending 2025.07.31